|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 103 gevonden artikelen
| Titel: |
Bombardment Induced Strengthening Of Nitride (BISON) a novel effect in the etch properties of ion implanted LPCVD - Si3N4 |
| Auteur: |
van Ommen, A.H. Maas, H.G.R. Appels, J.A. |
| Verschenen in: |
Physica. B+C, Low temperature and solid state physics + Atomic, molecular and plasma physics optics |
| Paginering: | Jaargang 129 (1985) nr. 1-3 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1985 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 103 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |