Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 21 van 46 gevonden artikelen
 
 
  Heat capacities, entropies, and Gibbs free energies of formation of low-k amorphous Si(O)CH dielectric films and implications for stability during processing
 
 
Titel: Heat capacities, entropies, and Gibbs free energies of formation of low-k amorphous Si(O)CH dielectric films and implications for stability during processing
Auteur: Chen, Jiewei
Calvin, Jason
Asplund, Megan
King, Sean W.
Woodfield, Brian F.
Navrotsky, Alexandra
Verschenen in: Journal of chemical thermodynamics
Paginering: Jaargang 128 (2019) nr. C pagina's 320-335
Jaar: 2019
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 21 van 46 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland