|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 47 gevonden artikelen
| Titel: |
Enhancement of CMP pad lifetime for shallow trench isolation process using profile simulation |
| Auteur: |
Lee, Woo-Jin Park, Hyung-Soon Shin, Heon-Cheol |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 9 (2009) nr. 1S pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 47 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |