|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomic layer deposition of high-k and metal thin films for high-performance DRAM capacitors: A brief review |
| Auteur: |
Kim, Se Eun Sung, Ju Young Yun, Yewon Jeon, Byeongjun Moon, Sang Mo Lee, Han Bin Lee, Chae Hyun Jung, Hae Jun Lee, Jae-Ung Lee, Sang Woon |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 64 () nr. C pagina's 8-15 |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Physical Society |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |