|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation of ion-induced etch damages on trench surface of Ge2Sb2Te5 in high density Ar/SF6 plasma |
| Auteur: |
Song, Jaemin Lee, Myeonggeon Ryu, Sangwon Jang, Yunchang Park, Seolhye Kim, Gon-Ho |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 45 () nr. C pagina's 105-113 |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Physical Society |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |