|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Evolution of vacuum ultraviolet emission in dual-frequency capacitively coupled plasmas |
| Auteur: |
Han, Duksun Park, Jong-Bae Kim, Young-Woo Kwon, Deuk-Chul Park, Sanghoo |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 31 () nr. C pagina's 239-245 |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |