|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 41 van 49 gevonden artikelen
| Titel: |
Study on SiN and SiCN film production using PE-ALD process with high-density multi-ICP source at low temperature |
| Auteur: |
Song, Hohyun Seo, Sanghun Chang, Hongyoung |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 18 (2018) nr. 11 pagina's 1436-1440 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 41 van 49 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |