|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 33 gevonden artikelen
| Titel: |
Development of multiple inductively coupled plasma sources using coaxial transmission line for large-area processes |
| Auteur: |
Lee, Jin-Won An, Sang-Hyuk Kim, J.H. Lee, Yun-Seong Chang, Hong-Young |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 16 (2016) nr. 3 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 33 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |