|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 26 van 40 gevonden artikelen
| Titel: |
Interface characterization and evaluation of the reactive preclean process for the removal of Cu oxide in the Cu nanointerconnect process |
| Auteur: |
Kim, Dong Joon Choi, Heesoo Kim, Areum Choi, Eunmi Park, Hyunjin Kwon, Nam Hee Lee, Dong Hyun Cui, Yinhua Pyo, Sung Gyu |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 13 (2013) nr. S2 pagina's 3 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 26 van 40 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |