|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 44 van 44 gevonden artikelen
| Titel: |
UV irradiation effects on the bonding structure and electrical properties of ultra low-k SiOC(–H) thin films for 45 nm technology node |
| Auteur: |
Choi, Chi Kyu Kim, Chang Young Navamathavan, R. Lee, Heang Seuk Woo, Jong-Kwan Hyun, Myung Taek Lee, Heon Ju Jeung, Won Young |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 11 (2011) nr. 5S pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 44 van 44 gevonden artikelen
| << vorige |