|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
Impact of bias power-induced ion energy on refractive index of SiN films room-temperature deposited in SiH4–NH3–N2 pulsed plasma |
| Auteur: |
Kwon, Sanghee Lee, Hwajun Kim, Byungwhan |
| Verschenen in: |
Current applied physics |
| Paginering: | Jaargang 10 (2010) nr. 3S pagina's 3 p. |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 51 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |