|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Structural and electrical properties of AlN thin films on GaN substrates grown by plasma enhanced-Atomic Layer Deposition |
| Auteur: |
Schilirò, Emanuela Giannazzo, Filippo Bongiorno, Corrado Di Franco, Salvatore Greco, Giuseppe Roccaforte, Fabrizio Prystawko, Pawel Kruszewski, Piotr Leszczyński, Mike Krysko, Marcin Michon, Adrien Cordier, Yvon Cora, Ildiko Pecz, Bela Gargouri, Hassan Nigro, Raffaella Lo |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 97 (2019) nr. C pagina's 35-39 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |