|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
The composition and interfacial properties of annealed AlN films deposited on 4H-SiC by atomic layer deposition |
| Auteur: |
Chen, Jun Lv, Bowen Zhang, Feng Wang, Yinshu Liu, Xingfang Yan, Guoguo Shen, Zhanwei Wen, Zhengxin Wang, Lei Zhao, Wanshun Sun, Guosheng Liu, Chao Zeng, Yiping |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 94 (2019) nr. C pagina's 107-115 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |