|
Photoelectron spectroscopy (XPS) and photoelectron diffraction (XPD) studies on the system hafnium silicide and hafnium oxide on Si(100) |
|
|
|
Titel: |
Photoelectron spectroscopy (XPS) and photoelectron diffraction (XPD) studies on the system hafnium silicide and hafnium oxide on Si(100) |
Auteur: |
Weier, D. Flüchter, C. de Siervo, A. Schürmann, M. Dreiner, S. Berges, U. Carazzolle, M.F. Pancotti, A. Landers, R. Kleiman, G.G. Westphal, C. |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 9 (2006) nr. 6 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|