|
Characterization of crystalline GeSn layer on tensile-strained Ge buffer deposited by magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
Characterization of crystalline GeSn layer on tensile-strained Ge buffer deposited by magnetron sputtering |
Auteur: |
Miao, Yuanhao Wang, Yibo Hu, Huiyong Liu, Xiangyu Su, Han Zhang, Jing Yang, Jiayin Tang, Zhaohuan Wu, Xue Song, Jianjun Xuan, Rongxi Zhang, Heming |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 85 () nr. C pagina's 134-140 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|