|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 34 gevonden artikelen
| Titel: |
Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process |
| Auteur: |
Fu, Jianyu Li, Junjie Yu, Jiahan Liu, Ruiwen Li, Junfeng Wang, Weibing Wang, Wenwu Chen, Dapeng |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 83 (2018) nr. C pagina's 186-191 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 34 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |