Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 5 van 8 gevonden artikelen
 
 
  Influence of rapid thermal annealing on morphological and electrical properties of RF sputtered AlN films
 
 
Titel: Influence of rapid thermal annealing on morphological and electrical properties of RF sputtered AlN films
Auteur: Kar, J.P.
Bose, G.
Tuli, S.
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 8 (2005) nr. 6 pagina's 6 p.
Jaar: 2005
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 5 van 8 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland