|
Dry oxidation of MBE-SiGe films: rate enhancement, Ge redistribution and defect injection |
|
|
|
Titel: |
Dry oxidation of MBE-SiGe films: rate enhancement, Ge redistribution and defect injection |
Auteur: |
Spadafora, M. Terrasi, A. Mirabella, S. Piro, A. Grimaldi, M.G. Scalese, S. Napolitani, E. Di Marino, M. De Salvador, D. Carnera, A. |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 8 (2005) nr. 1-3 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2005 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|