|
Epitaxial growth of Ge thin film on Si (001) by DC magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
Epitaxial growth of Ge thin film on Si (001) by DC magnetron sputtering |
Auteur: |
Otsuka, Shintaro Mori, Takahiro Morita, Yukinori Uchida, Noriyuki Liu, Yongxun O'uchi, Shin-ichi Fuketa, Hiroshi Migita, Shinji Masahara, Meishoku Matsukawa, Takashi |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 70 (2017) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|