|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Defect study on Nanoglass® E porous ultra-low k material (k∼2.2) for ultra-large-scale integration applications |
| Auteur: |
Zhang, L. Chen, Y.W. Li, C.Y. Li, C. Wong, L.Y. Li, H.Y. Balakumar, S. Park, H.S. |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 7 (2004) nr. 1-2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |