|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 42 gevonden artikelen
| Titel: |
Structural, chemical, and electrical properties of Y2O3 thin films grown by atomic layer deposition with an (iPrCp)2Y(iPr-amd) precursor |
| Auteur: |
Kang, J.-H. Jung, Yong Chan Seong, Sejong Lee, Taehoon Ahn, Jinho Noh, Wontae Park, In-Sung |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 63 (2017) nr. C pagina's 279-284 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 42 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |