|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
Growth and evolution of residual stress of AlN films on silicon (100) wafer |
| Auteur: |
Pandey, Akhilesh Dutta, Shankar Prakash, Ravi Dalal, Sandeep Raman, R. Kapoor, Ashok Kumar Kaur, Davinder |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 52 (2016) nr. C pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 12 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |