|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimization of process conditions for the formation of hemispherical-grained (HSG) silicon in high-density DRAM capacitor |
| Auteur: |
Joung, Yang Hee Kang, Hee Soon Kang, Seong Jun |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 5 (2002) nr. 6 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |