Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 83 van 112 gevonden artikelen
 
 
  Prediction of interfacial adhesion strength of nanoscale Al/TiN films passed through patterned BEOL interconnects
 
 
Titel: Prediction of interfacial adhesion strength of nanoscale Al/TiN films passed through patterned BEOL interconnects
Auteur: Lee, Chang-Chun
Shen, Yu-Lin
Kang, Yuan
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 39 (2015) nr. C pagina's 5 p.
Jaar: 2015
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 83 van 112 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland