|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 112 gevonden artikelen
| Titel: |
A preliminary study of SF6 based inductively coupled plasma etching techniques for beta gallium trioxide thin film |
| Auteur: |
Liang, Hongwei Chen, Yuanpeng Xia, Xiaochuan Zhang, Chao Shen, Rensheng Liu, Yang Luo, Yingmin Du, Guotong |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 39 (2015) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 112 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |