|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 24 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Preparation of porous ultra low k films using different sacrificial porogen precursors for 28nM technological node |
| Auteur: |
Ming, Zhou Beichao, Zhang |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 36 (2015) nr. C pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 24 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |