|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of lanthanum doping in ceria abrasives on chemical mechanical polishing selectivity for shallow trench isolation |
| Auteur: |
Praveen, B.V.S. Cho, Byoung-Jun Park, Jin-Goo Ramanathan, S. |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 33 (2015) nr. C pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |