|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 96 gevonden artikelen
| Titel: |
Characteristics and mechanisms of aerosol deposition-based barium titanate by sulfur hexafluoride inductively coupled plasma etching |
| Auteur: |
Wang, Cong Li, Yang Yao, Zhao Kim, Hyung-Jun Kim, Nam-Young |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 30 (2015) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 96 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |