|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Metallic impurity gettering to defects remaining in the RP/2 region of MeV-ion implanted and annealed silicon |
| Auteur: |
Peeva, A Koegler, R Brauer, G Werner, P Skorupa, W |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 3 (2000) nr. 4 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |