|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 46 van 99 gevonden artikelen
| Titel: |
Kinetic Monte Carlo simulation of low-pressure chemical vapor deposition of silicon nitride: Impact of gas flow rate and temperature on silicon cluster size and density |
| Auteur: |
Bouhadiche, Adil Bouridah, Hachemi Boutaoui, Noureddine |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 26 (2014) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 46 van 99 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |