|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Electrochemical mechanism of layout-dependent corrosion of tungsten in contact plugs |
| Auteur: |
Chen, Hunglin Fan, Rongwei Lou, Hsiaochi Huang, Yiping |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 20 (2014) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |