|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 10 gevonden artikelen
| Titel: |
Two-dimensional plasma reactor simulation with self-consistent coupling of gas flow with plasma transport |
| Auteur: |
Nam, Sang Ki Shin, Chee Burm Economou, Demetre J |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 2 (1999) nr. 3 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 10 gevonden artikelen
| << vorige |