|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
UV–ozone precleaning and forming gas annealing applied to wet thermal oxidation of p-type silicon carbide |
| Auteur: |
Zetterling, Carl-Mikael Östling, Mikael Harris, Chris I Wood, Peter C Wong, S.Simon |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 2 (1999) nr. 1 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 11 gevonden artikelen
| << vorige |