|
Wafer bow control of extended wavelength InGaAs photodetector materials by strain tailoring |
|
|
|
Titel: |
Wafer bow control of extended wavelength InGaAs photodetector materials by strain tailoring |
Auteur: |
Liu, Bowen Gu, Yi Yin, Lihao Huang, Huijuan Li, Kang Fan, Liuyan Zhou, Hong Chen, Pingping Yu, Chunlei Li, Tao Shao, Xiumei Li, Xue Gong, Haimei |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 197 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|