|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Comparative study on MnO2, Mn2O3, and Mn3O4: Enhancing chemical-mechanical polishing properties of 4H-SiC silicon wafers |
| Auteur: |
Cui, Dexing Zhang, Baoguo Xian, Wenhao Liu, Min Liu, Shitong Wu, Pengfei Wang, Ye |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 191 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |