|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 80 van 89 gevonden artikelen
| Titel: |
Tailored electrostatic attraction force between anionic polymer and Si3N4 film in consecutive gate poly open CMP |
| Auteur: |
Choi, Seung-Hoon Yim, Junhwan Lim, Jaehyun Kim, Seji Jeong, Youncheol Bae, Kiho Seo, Jihoon Lee, Kangchun |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 184 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 80 van 89 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |