|
Roughness control in the processing of 2-inch polycrystalline diamond films on 4H-SiC wafers |
|
|
|
Titel: |
Roughness control in the processing of 2-inch polycrystalline diamond films on 4H-SiC wafers |
Auteur: |
Hu, Xiufei Wang, Ziang Wang, Yingnan Han, Saibin Zhang, Xiaoyu Peng, Yan Ge, Lei Xu, Mingsheng Wang, Xiwei Han, Jisheng Xu, Xiangang |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 184 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|