|
Influence of the annealing schemes on the formation and stability of Ni(Pt)Si thin films: Partial, laser, total, and one-step annealings |
|
|
|
Titel: |
Influence of the annealing schemes on the formation and stability of Ni(Pt)Si thin films: Partial, laser, total, and one-step annealings |
Auteur: |
Morris Anak, Fabriziofranco Campos, Andréa Grégoire, Magali Estellon, Adrien Lombard, Marc Guyot, Thomas Guillemin, Sophie Mangelinck, Dominique |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 184 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|