|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 36 van 89 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of TiN metal hard masks via very-high-frequency-direct-current superimposed sputtering |
| Auteur: |
Jeong, Byeong Hwa Kim, Dong Woo Yeom, Geun-Young Kim, Kyong Nam |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 184 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 36 van 89 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |