|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 63 gevonden artikelen
| Titel: |
Experimental study on single crystal diamond CMP based on Fenton reaction and analysis of oxidation mechanism |
| Auteur: |
Luo, Ziyuan Lu, Jiabin Zeng, Jun Wang, Xinhan Yan, Qiusheng |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 182 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 63 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |