|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 63 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of substrate temperature and position on properties of Cu3N thin films deposited by reactive radio frequency magnetron sputtering |
| Auteur: |
Majumder, Shanta Ohishi, Miho Saito, Katsuhiko Guo, Qixin Patwary, Md Abdul Majed Tanaka, Tooru |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 182 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 63 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |