Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 16 van 70 gevonden artikelen
 
 
  Digital etching of AlGaN/GaN heterostructures with GaN cap using inductively coupled oxygen plasma process combined with wet chemical treatment
 
 
Titel: Digital etching of AlGaN/GaN heterostructures with GaN cap using inductively coupled oxygen plasma process combined with wet chemical treatment
Auteur: Kim, Jong-Hee
Kim, Hyeon-Cheol
Jeong, Hyeon-Yeong
Janardhanam, V.
Kumar, A. Ashok
Rajagopal Reddy, V.
Choi, Chel-Jong
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 181 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2024
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 16 van 70 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland