|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 47 gevonden artikelen
| Titel: |
Development of Highly stable ceria slurry in acetic acid-ammonium acetate buffer Media for effective chemical mechanical polishing of silicon dioxide |
| Auteur: |
Liu, Min Zhang, Baoguo Seo, Jihoon Xian, Wenhao Cui, Dexing Liu, Shitong Wang, Yijun Qin, Sihui Liu, Yang |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 177 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 47 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |