|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 36 van 48 gevonden artikelen
| Titel: |
Polarity control of sputter-deposited AlN with high-temperature face-to-face annealing |
| Auteur: |
Shojiki, Kanako Uesugi, Kenjiro Xiao, Shiyu Miyake, Hideto |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 166 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 36 van 48 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |