|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 26 van 39 gevonden artikelen
| Titel: |
300 mm integration of a scalable phase change material spacer by inductively coupled plasma etching |
| Auteur: |
Fang, Wencheng Zheng, Jia Zhang, Jiarui Li, Chengxing Wang, Ruobing Song, Sannian Li, Xi Song, Zhitang Zhou, Xilin |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 164 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 26 van 39 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |