Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 8 van 25 gevonden artikelen
 
 
  Effect of film stress on different electrical properties of PECVD grown SiNx films and its bilayer structures: A study of Si surface passivation strategy
 
 
Titel: Effect of film stress on different electrical properties of PECVD grown SiNx films and its bilayer structures: A study of Si surface passivation strategy
Auteur: Chavan, Vijay D.
Kim, Honggyun
Aziz, Jamal
Choi, Kyeong-Keun
Kim, Deok-kee
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 161 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2023
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 8 van 25 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland