|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 94 van 114 gevonden artikelen
| Titel: |
Surface modification and oxidation of Si wafers after low energy plasma treatment in hydrogen, helium and argon |
| Auteur: |
Turishchev, S.Yu. Terekhov, V.A. Parinova, E.V. Korolik, O.V. Mazanik, A.V. Fedotov, A.K. |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 16 (2013) nr. 6 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 94 van 114 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |