Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 40 van 65 gevonden artikelen
 
 
  Mechanism of photo-assisted atomic layer etching of chlorinated Si(111) surfaces: Insights from DFT/TDDFT calculations
 
 
Titel: Mechanism of photo-assisted atomic layer etching of chlorinated Si(111) surfaces: Insights from DFT/TDDFT calculations
Auteur: Wang, Peizhi
Castelli, Marco
Fang, Fengzhou
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 153 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2023
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 40 van 65 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland