|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 54 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect and mechanism analysis of sarcosine on the chemical mechanical polishing performance of copper film for GLSI |
| Auteur: |
Zhang, Yinchan Niu, Xinhuan Zhou, Jiakai Wang, Jianchao Zhu, Yebo Hou, Ziyang Yan, Han Luo, Fu Qu, Minghui |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 151 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 54 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |