|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 32 van 75 gevonden artikelen
| Titel: |
Growth and characterization of Ti-based films obtained from two selected precursors: H2O, TiCl4, Ti(N(CH3)2)4 or Al2(CH3)6 by the ALD method |
| Auteur: |
Wachnicki, Lukasz Gieraltowska, Sylwia Witkowski, Bartlomiej S. Godlewski, Marek Guziewicz, Elzbieta |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 148 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 32 van 75 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |